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原理，結(jié)構(gòu)

FGM221系列氣體質(zhì)量流量計專門用于 氣體流量的高精度測量。該系列流量計采用 業(yè)內(nèi)先進流量傳感芯片，結(jié)合航空鋁材拋 光 氣體流道設(shè)計，配合公司核心的標定和補償 算法，實現(xiàn)對各類清潔、干燥和無腐蝕性氣體 的高精度流量測量。該產(chǎn)品 20SLM以內(nèi)典型 精度為1%，50SLM典型精度為1.5%，量程 比 均 優(yōu) 于 2 0 0 : 1 ，此 系 列 產(chǎn) 品 的 量 程 從 20SCCM到，200SLM可選(其它量程可咨詢 定制)，并配有液晶屏顯示、數(shù)字和模擬輸出， 方便用戶現(xiàn)場和遠程調(diào)試。該產(chǎn)品成本低、易 安裝、不需要額外溫度和壓力補償。